SEM與EDS技術整合：為產業提高分析效率

SEM和EDS是經常搭配使用的分析技術，可同步提供樣品形貌、結構和化學成分，從而幫助我們更全面地掌握樣品特性。

掃描式電子顯微鏡(SEM)透過電子束轟擊樣品表面相互作用，會產生二次電子、背向散射電子等訊號以成像，同時，也會釋放特徵X射線，經由EDS檢測可進行樣品的元素分析。

能量散射Ｘ射線光譜（Energy-dispersive x-ray spectroscopy），英文縮寫為EDS，是利用高能量的電子束激發樣品中的內層電子，當內層電子離開原子後會留下電洞，外層或能階較高的電子會回填至電洞，根據能量守恆定律，外層或能階較高的電子回填至電洞的過程中，多餘的能量會以Ｘ射線的形式釋放，不同的元素，放射的能量(特徵峰)也不相同，藉由偵測特徵峰，可以用來分析不揮發的樣品的元素特性。